半导体与集成电路

服务于半导体材料、电子功能材料、封装材料及相关器件的材料改性、辐照测试与性能研究,探索电子束在先进电子材料领域的应用。

技术原理
电子束具有较高能量和可控性,可与材料发生电离、激发等相互作用,改变材料内部的电子状态、缺陷结构及分子结构。通过精确控制能量和吸收剂量,可对材料性能进行调控和评价。

核心价值
具备能量可调、剂量可控、处理精度高等特点,可用于研究材料在辐照环境下的性能变化,以及高分子电子材料、封装材料等的交联与改性。结合材料研发与可靠性评价,为半导体及集成电路产业的新材料开发和工艺研究提供技术支持。